| TÃtulo : |
Flash Lamp Annealing : From Basics to Applications |
| Tipo de documento: |
documento electrónico |
| Autores: |
Rebohle, Lars, Autor ; Prucnal, Slawomir, Autor ; Reichel, Denise, Autor |
| Mención de edición: |
1 ed. |
| Editorial: |
[s.l.] : Springer |
| Fecha de publicación: |
2019 |
| Número de páginas: |
XVIII, 288 p. |
| ISBN/ISSN/DL: |
978-3-030-23299-3 |
| Nota general: |
Libro disponible en la plataforma SpringerLink. Descarga y lectura en formatos PDF, HTML y ePub. Descarga completa o por capítulos. |
| Palabras clave: |
Semiconductores Materiales ópticos ArtÃculos Láseres Telecomunicación MicrotecnologÃa Sistemas micro electromecánicos Máquinas Herramientas Procesos Láser Microondas IngenierÃa de RF y Comunicaciones Ópticas Microsistemas y MEMS |
| Ãndice Dewey: |
537.622 |
| Resumen: |
Este libro proporciona un estudio completo de la tecnologÃa de recocido con lámpara flash (FLA) para el procesamiento térmico de semiconductores. Ofrece una introducción detallada a la tecnologÃa FLA y sus antecedentes fÃsicos. Las ventajas, desventajas y problemas del proceso se abordan en detalle y permiten al lector planificar y realizar adecuadamente su propio procesamiento térmico. Además, este libro ofrece una visión general amplia de las aplicaciones del recocido con lámpara flash, incluido un estudio exhaustivo de la literatura. Varios estudios de casos de perfiles de temperatura simulados en sistemas de materiales reales brindan al lector la información necesaria sobre la fÃsica y las simulaciones subyacentes. Este libro es una valiosa obra de referencia tanto para usuarios principiantes como avanzados. |
| Nota de contenido: |
Introduction -- Technological background -- Basic components -- Flash lamps -- Process management and process control -- FLA assisted deposition -- Temperature -- Thermal budget -- Temperature measurements -- Temperature simulations -- FLA for semiconductors -- Defect engineering -- Doping -- Crystallization -- Semiconductor nanostructures -- Beyond semiconductors -- Transparent conducting oxides -- Metallic films -- High-k materials and dielectrics -- Flexible substrates -- Outlook. |
| En lÃnea: |
https://link-springer-com.biblioproxy.umanizales.edu.co/referencework/10.1007/97 [...] |
| Link: |
https://biblioteca.umanizales.edu.co/ils/opac_css/index.php?lvl=notice_display&i |
Flash Lamp Annealing : From Basics to Applications [documento electrónico] / Rebohle, Lars, Autor ; Prucnal, Slawomir, Autor ; Reichel, Denise, Autor . - 1 ed. . - [s.l.] : Springer, 2019 . - XVIII, 288 p. ISBN : 978-3-030-23299-3 Libro disponible en la plataforma SpringerLink. Descarga y lectura en formatos PDF, HTML y ePub. Descarga completa o por capítulos. |  |