Atomic Layer Deposition / Kaariainen, Tommi  

Público ISBD Ningún comentario para este título. Título : Atomic Layer Deposition  : Principles, Characteristics, and Nanotechnology Applications Tipo de documento: documento electrónico Autores: Kaariainen, Tommi Mención de edición: 2nd ed. Editorial: Wiley Fecha de publicación: 2013 Número de páginas: xv, 253 p. : Il.: ill. ISBN/ISSN/DL: 9781118747421 Palabras clave:   Chemical vapor deposition.  Epitaxy.  Microelectronics.  Nanotechnology. Clasificación: 620/.5 Enlace de acceso : https://elibro-net.biblioproxy.umanizales.edu.co/es/lc/umanizales/titulos/179453 Atomic Layer Deposition  : Principles, Characteristics, and Nanotechnology Applications [documento electrónico] / Kaariainen, Tommi  . -  2nd ed. . - Wiley, 2013 . - xv, 253 p. : : ill. ISBN : 9781118747421 Palabras clave:   Chemical vapor deposition.  Epitaxy.  Microelectronics.  Nanotechnology. Clasificación: 620/.5 Enlace de acceso : https://elibro-net.biblioproxy.umanizales.edu.co/es/lc/umanizales/titulos/179453

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