Computational Lithography / Ma, Xu  

Público ISBD Ningún comentario para este título. Título : Computational Lithography Tipo de documento: documento electrónico Autores: Ma, Xu (1983-) ; Arce, Gonzalo R. Editorial: Wiley Fecha de publicación: 2010 Número de páginas: xv, 226 p. : Il.: ill. Palabras clave:   Microlithography  Mathematics.  Integrated circuits  Design and construction  Mathematics.  Photolithography  Mathematics.  Semiconductors  Etching  Mathematics.  Resolution (Optics) Clasificación: 621.381531 Enlace de acceso : https://elibro-net.biblioproxy.umanizales.edu.co/es/lc/umanizales/titulos/178332 Computational Lithography [documento electrónico] / Ma, Xu (1983-) ; Arce, Gonzalo R. . - Wiley, 2010 . - xv, 226 p. : : ill. Palabras clave:   Microlithography  Mathematics.  Integrated circuits  Design and construction  Mathematics.  Photolithography  Mathematics.  Semiconductors  Etching  Mathematics.  Resolution (Optics) Clasificación: 621.381531 Enlace de acceso : https://elibro-net.biblioproxy.umanizales.edu.co/es/lc/umanizales/titulos/178332

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