Flash Lamp Annealing / Rebohle, Lars  

Público ISBD Ningún comentario para este registro. Título : Flash Lamp Annealing : From Basics to Applications Tipo de documento: documento electrónico Autores: Rebohle, Lars, ; Prucnal, Slawomir, ; Reichel, Denise, Mención de edición: 1 ed. Editorial: [s.l.] : Springer Fecha de publicación: 2019 Número de páginas: XVIII, 288 p. ISBN/ISSN/DL: 978-3-030-23299-3 Nota general: Libro disponible en la plataforma SpringerLink. Descarga y lectura en formatos PDF, HTML y ePub. Descarga completa o por capítulos. Idioma : Inglés (eng) Palabras clave: Semiconductores  Materiales ópticos  Artículos  Láseres  Telecomunicación  Microtecnología  Sistemas micro electromecánicos  Máquinas  Herramientas  Procesos  Láser  Microondas  Ingeniería de RF y Comunicaciones Ópticas  Microsistemas y MEMS Clasificación: 537.622 Resumen: Este libro proporciona un estudio completo de la tecnología de recocido con lámpara flash (FLA) para el procesamiento térmico de semiconductores. Ofrece una introducción detallada a la tecnología FLA y sus antecedentes físicos. Las ventajas, desventajas y problemas del proceso se abordan en detalle y permiten al lector planificar y realizar adecuadamente su propio procesamiento térmico. Además, este libro ofrece una visión general amplia de las aplicaciones del recocido con lámpara flash, incluido un estudio exhaustivo de la literatura. Varios estudios de casos de perfiles de temperatura simulados en sistemas de materiales reales brindan al lector la información necesaria sobre la física y las simulaciones subyacentes. Este libro es una valiosa obra de referencia tanto para usuarios principiantes como avanzados. Nota de contenido: Introduction -- Technological background -- Basic components -- Flash lamps -- Process management and process control -- FLA assisted deposition -- Temperature -- Thermal budget -- Temperature measurements -- Temperature simulations -- FLA for semiconductors -- Defect engineering -- Doping -- Crystallization -- Semiconductor nanostructures -- Beyond semiconductors -- Transparent conducting oxides -- Metallic films -- High-k materials and dielectrics -- Flexible substrates -- Outlook. Tipo de medio : Computadora Summary : This book provides a comprehensive survey of the technology of flash lamp annealing (FLA) for thermal processing of semiconductors. It gives a detailed introduction to the FLA technology and its physical background. Advantages, drawbacks and process issues are addressed in detail and allow the reader to properly plan and perform their own thermal processing. Moreover, this books gives a broad overview of the applications of flash lamp annealing, including a comprehensive literature survey. Several case studies of simulated temperature profiles in real material systems give the reader the necessary insight into the underlying physics and simulations. This book is a valuable reference work for both novice and advanced users. Enlace de acceso : https://link-springer-com.biblioproxy.umanizales.edu.co/referencework/10.1007/97 [...] Flash Lamp Annealing : From Basics to Applications [documento electrónico] / Rebohle, Lars, ; Prucnal, Slawomir, ; Reichel, Denise,  . -  1 ed.  . - [s.l.] : Springer, 2019 . - XVIII, 288 p. ISBN : 978-3-030-23299-3 Libro disponible en la plataforma SpringerLink. Descarga y lectura en formatos PDF, HTML y ePub. Descarga completa o por capítulos. Idioma : Inglés (eng) Palabras clave: Semiconductores  Materiales ópticos  Artículos  Láseres  Telecomunicación  Microtecnología  Sistemas micro electromecánicos  Máquinas  Herramientas  Procesos  Láser  Microondas  Ingeniería de RF y Comunicaciones Ópticas  Microsistemas y MEMS Clasificación: 537.622 Resumen: Este libro proporciona un estudio completo de la tecnología de recocido con lámpara flash (FLA) para el procesamiento térmico de semiconductores. Ofrece una introducción detallada a la tecnología FLA y sus antecedentes físicos. Las ventajas, desventajas y problemas del proceso se abordan en detalle y permiten al lector planificar y realizar adecuadamente su propio procesamiento térmico. Además, este libro ofrece una visión general amplia de las aplicaciones del recocido con lámpara flash, incluido un estudio exhaustivo de la literatura. Varios estudios de casos de perfiles de temperatura simulados en sistemas de materiales reales brindan al lector la información necesaria sobre la física y las simulaciones subyacentes. Este libro es una valiosa obra de referencia tanto para usuarios principiantes como avanzados. Nota de contenido: Introduction -- Technological background -- Basic components -- Flash lamps -- Process management and process control -- FLA assisted deposition -- Temperature -- Thermal budget -- Temperature measurements -- Temperature simulations -- FLA for semiconductors -- Defect engineering -- Doping -- Crystallization -- Semiconductor nanostructures -- Beyond semiconductors -- Transparent conducting oxides -- Metallic films -- High-k materials and dielectrics -- Flexible substrates -- Outlook. Tipo de medio : Computadora Summary : This book provides a comprehensive survey of the technology of flash lamp annealing (FLA) for thermal processing of semiconductors. It gives a detailed introduction to the FLA technology and its physical background. Advantages, drawbacks and process issues are addressed in detail and allow the reader to properly plan and perform their own thermal processing. Moreover, this books gives a broad overview of the applications of flash lamp annealing, including a comprehensive literature survey. Several case studies of simulated temperature profiles in real material systems give the reader the necessary insight into the underlying physics and simulations. This book is a valuable reference work for both novice and advanced users. Enlace de acceso : https://link-springer-com.biblioproxy.umanizales.edu.co/referencework/10.1007/97 [...]

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